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ICM-E 係列集成電路電子級超純水係統
ICM-E 係列集成電路電子級超純水係統
駭思HyperPureX ICM-E係列集成電路電子級超純水係統以嚴謹的合規性指導係統的設計
、製造
、安裝和驗證的全過程
，以模塊化的設計集成了多介質過濾
、活性炭吸附
、軟化
、二級RO2nd
、脫氣
、EDI
、超濾
、紫外殺菌和TOC降解
、樹脂超純化
、以及終端微濾各純化單元
，廣泛應用於半導體晶圓及液晶屏清洗
、芯片等各種精密電子元器件的加工和製造
。
水質標準
GB/T 11446.1-2013
、GB/T 33087-2016
、ASTM D1193-06等規定的水質標準
工藝路徑
1. 預處理係統+二級反滲透RO2nd係統+脫氣係統+EDI係統+超純化係統+儲存分配係統
性能特點
10“彩色觸控屏及 PLC控製模塊且具有物聯網（IOT）和雲平台功能的全自動控製係統；
模塊化設計理念
，結構緊湊
，便於操作及後期維護
；
整套設備可以完全排空設計
；
可根據客戶原水水質優化調整工藝路線
；
係統內部部分濃水可回收
，可提高係統回收率至80%以上
；
確保過程檢驗
、質量監控
、驗證文件符合用戶需求
；
應用範圍
液晶麵板製作
、半導體晶圓
、芯片等各種精密電子元器件行業的加工和製造
上一個
：
ICM-P 係列 製藥/生物技術純化水係統
下一個
：
不鏽鋼生物反應器
