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ICM-E 係列集成電路電子級超純水係統
駭思HyperPureX ICM-E係列集成電路電子級超純水係統以嚴謹的合規性指導係統的設計
、製造
、安裝和驗證的全過程
，以模塊化的設計集成了多介質過濾
、活性炭吸附
、軟化
、二級RO2nd
、脫氣
、EDI
、超濾
、紫外殺菌和TOC降解
、樹脂超純化
、以及終端微濾各純化單元
，廣泛應用於半導體晶圓及液晶屏清洗
、芯片等各種精密電子元器件的加工和製造
。
