大氣壓 | 70~106Kpa |
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工作台麵中心振動靜位移µm(rms) | 4.1 |
主過濾器類別 | ULPA |
人員保護 | 2.1*100000 |
主過濾器效率 | 99.9995%@0.12μm |
下降氣流速度(m/s) | 0.28 |
流入氣流速度(m/s) | 0.55 |
外排風量(m³/h) | 440 |
頻率 | 50Hz±1Hz |
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工作室內表麵材質 | SUS304 |
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重量(Kg) | 258 |
腳輪 | 有 |
櫃內插座配置(防濺插座個數) | 1個防濺插座 |
固定底腳 | 可調高度75mm ,無裸露螺紋 |
過濾器阻塞報警 | 有 |
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過濾器破損報警 | 有 |
前窗玻璃防紫外線 | 有 |